腐食に強いノンメタル仕様!ポンプを設置する環境に配慮したFシリーズ
DP-Fsシリーズは主要部材質も樹脂化した金属レスモデルの
ダイアフラムポンプです。
ワンピースダイアフラムが破損しても、金属イオン汚染を防止し、腐食性雰囲気の
中での運転も安心して行うことができ、CMPスラリー移送に適しています。
エア切替バルブは、ノンメタル仕様のPEEKスプールを採用しています。
温度変化に強いハードシールをデフォルト装備し、液漏れがしにくく安心です。
■主な用途
防爆エリアにおける引火性液剤の移送 / 薬液、純水、廃液の移送
※製品データシート(仕様・寸法図・パフォーマンスカーブ)は仕様のタブにあります。