腐食に強いノンメタル仕様！本質防爆仕様の安全設計
DP-FsEシリーズはDP-Fsシリーズの光ファイバー式センサー切替モデルを
採用した、主要部材質も樹脂化した金属レスモデルのダイアフラムポンプです。
ワンピースダイアフラムが破損しても、金属イオン汚染を防止し、腐食性雰囲気の
中での運転も安心して行うことができ、CMPスラリー移送に適しています。
■主な用途
防爆エリアにおける引火性液剤の移送 / 薬液、純水、廃液の移送
※製品データシート（仕様・寸法図・パフォーマンスカーブ）は仕様のタブにあります。
この製品へのよくあるご質問
特長
■ シール仕様
| ハードシール ヒートサイクルによる樹脂の伸縮に対応し、 温度変化に強い。 |
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■ ノンメタル仕様
| ワンピースダイアフラム センターディスクとダイアフラムを一体型にした センターディスクレスダイアフラム。 交換が非常に簡単、かつランニングコストに優れている。 |
樹脂センターロッド センターロッド材質に樹脂を使用することで、 ノンメタルを実現。 |
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■ 光ファイバー式センサー切替を採用
防爆エリアでも使用可能な光ファイバー式センサー切替モデルを採用しています。
◆ センサー切替「光ファイバー式センサー」
| ノンメタル・防爆モデル 光ファイバー式センサーを組み込むことにより防爆エリアでの使用が可能に。 ストローク検知や信号送信のしくみはエレクトロセンサー切替と同様。 |
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| センサー切替え=安定した往復運動 ダイアフラムのストロークエンドを近接センサーが検知、センサー信号を受けたポンプコントローラーが センターエキゾースト型の3ポジション5ポート電磁弁を切替制御。 |
| オプションカウンタ接続でストローク管理が可能 センターロッドが動いた回数をカウントすることで、部品の交換が必要となるタイミングを把握することができます。 |
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